掃描電子顯微鏡-電子顯微鏡的基本結構和成像原理　

　

掃描電子顯微鏡的主要特點是景深大，圖象富有立體感，製樣簡便，在觀察形貌的同時，還可利用樣品發出的其他信息在微小區域上作成分分析和晶體結構分析。掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡各有特點，因此兩者呈互相取長補短的關係。其基本結構及成像原理如圖12-4。  　　　　　圖12-4 掃描電鏡的基本結構及成像原理　　　           ——自洪濤等 　　電子槍發射的電子束經加速電壓加速後由第一聚光鏡、第二聚光鏡組成的電子光學係統形成一個直徑小於10nm的極細的電子束並聚焦於樣品表麵。當電子束以適當角度打在樣品表麵時，將產生二次電子、背散射電子、俄歇電子、X射線、透射電子等電子信息。信息的大小與樣品的性質及表麵形貌相關。根據不同的目的，利用不同的信息，可形成不同的像。在觀察樣品形貌時，檢取的主要是二次電子及部分背散射電子。讓電子束逐點掃描樣品表麵，並用探測器檢取電子信息，再經放大器放大後調製顯像管的光點亮度。由於顯像管的偏轉線圈電流與掃描線圈電流同步，因此，探測器檢取的信息便在顯像管熒光屏上形成反映樣品表麵形貌或性質的掃描電子圖像。　　掃描電鏡的放大倍數為顯像管掃描線長度與樣品掃描線長度之比，因此，隻要調節掃描線圈中電流的大小，就可改變放大倍數。　　掃描電鏡一般有兩個顯像管，一個是長餘輝的，可減少閃爍現象，觀察時使用；另一個是短餘輝的，照相時使用。二者由轉換開關選擇。