一是有效地阻止室外的汙染侵入室內(或防止室內汙染逸出室外),最主要途徑是控製室內的壓力等;在門窗關閉的情況下,防止潔淨室(區)外的汙染由縫隙摻入潔淨室(區)內;在門開啟時,保證有足夠的氣流向外流動,盡量削減由開門動作和人的進入瞬時帶進來的氣流量,並在以後門開啟狀態下,保證氣流方向是向外的,以便把帶入的汙染減小到最低程度。
二是迅速有效地排除室內已經發生的汙染,最主要途徑是控製氣流組織形式;
三是控製汙染源,減少汙染發生量。在較好的氣流組織下,足夠的淨化送風量不僅能保證潔淨室(區)的正壓,同時對潔淨係統的自淨時間影響很大。而自淨時間將直接影響潔淨室(區)的動態性能-“恢複能力”。最主要途徑是涉及發生汙染的設備和裝置的管理和進入潔淨室(區)的人與物的淨化。一般來說≥100級:人員/麵積的比例不大於0.1(即10平方米1個操作者);若不大於100級,則應人員/麵積的比例不大於0.25(即10平方米2.5個操作者)。
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